应用介绍 【行业】SEMI 【设备】炉管 【用途】用于晶圆的批量热处理 使用场景 检测石英晶圆舟晶圆是否有突出，防止自动取片时发生异常。 场景：晶舟上wafer的突出检测 解决课题 1、多达150片wafer时的高度检测，容易发生wafer的横向移动,需要稳定检测。 2、因检测距离远，调试时光轴对准难度大。 价值提案 核心产品：距离设定型光电开关 E3Z-LR ●1级激光光源，保证远距离的检测下可检测1mm的位置变化。 ●激光束方向的变化可被抑制并且光点直径可自由更改，方便远距离时光轴的调整。 相关产品 E3Z-LT / LR / LL https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1747/ 若您对本产品感兴趣，欢迎扫码留下您的联系方式，欧姆龙工程师将尽快与您联络！ 
