应用介绍 【行业】SEMI 【设备】EFEM 【用途】用于半导体前道各种工艺机台的晶圆传输 使用场景 检测cassette内wafer是否有凸出，防止自动取片时发生异常。 场景：cassette内wafer的突出检查 解决课题 应对不同材质wafer的检测需求，例如：Si、SiC、Ga2O3等。 价值提案 核心产品：光纤传感器 E32/E3NX-FA 配备自动调谐、以及APC&DPC自动投光&受光校正，方便快速对应各种透明度的wafer。 相关产品 光纤传感器E32系列 https://www.fa.omron.com.cn/products/family/1532/ 智能光纤放大器E3NX-FA https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3161/ 若您对本产品感兴趣，欢迎扫码留下您的联系方式，欧姆龙工程师将尽快与您联络！ 
